2021-04-01 經濟日報 / 記者尹慧中╱台北報導台積電

台積電昨（31）日發表系列綠色製造進展，包含水管理、節電與先進材料分析，其中，台積電打造高自動化先進材料分析中心，也是國內首座全自動化分析中心，首創高效率危害物質篩檢機制，該中心並建置台灣半導體界首台全自動光阻分析整合平台，減少員工暴露於化學品危害，並提升分析效率93%。

業界觀察，半導體先進材料分析攸關生產品質管控，近期不少材料分析廠商交期拉長一周不等，並有傳出漲價。台積電打造全國首創的自動化先進材料分析中心，能大幅減少分析資料判讀時間，有助於先進製程材料品質管控，也能強化整體生產力與效率提升，更進一步維持在全球晶圓代工領先的地位。

台積電說明，今年3月24日打造國內首座先進材料分析中心正式開幕，同步建置專屬的原物料危害物質特徵頻譜資料庫。

台積電強調，透過業界首創的高效率危害物質篩檢機制，完成100%有疑慮材料分析，大幅減少分析流程與資料判讀時間，從七天縮短至12小時，效率提升93%。

另一方面，台積電因製程機台用電量占公司能源使用五成以上，也持續要求近700家設備與廠務供應商一同設計節能設備或方案，去年已有139項節能方案導入5奈米及以下先進製程，其中包含68種5奈米及未來的3奈米的先進製程機台。

台積電指出，去年提出272項節能方案，包含六大合作廠商與十大機台領域並針對17種耗能元件導入高效能零件與節能設計，成功於當年度省下2億度用電量。

至於在強化水管理上，台積電強調，以可持續水管理標準（AWS）五大推動成果為執行基礎，持續推動各項水管理計畫，預計於今年完成先進封測三廠、晶圓12A廠、晶圓12B廠及晶圓五廠的認證，致力達成水資源使用效率最佳化，善盡環境永續責任。

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